Ultradense gas bubbles in Hydrogen- or Helium-implanted (or co-implanted) Silicon
Ultradense gas bubbles in Hydrogen- or Helium-implanted (or co-implanted) Silicon / Cerofolini, G. F.; Calzolari, G.; Corni, Federico; Nobili, Carlo Emanuele; Ottaviani, Giampiero; Tonini, Rita. - In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY. - ISSN 0921-5107. - STAMPA. - 71:1-3(2000), pp. 196-202. [10.1016/S0921-5107(99)00374-8]
Ultradense gas bubbles in Hydrogen- or Helium-implanted (or co-implanted) Silicon
CORNI, Federico;NOBILI, Carlo Emanuele;OTTAVIANI, Giampiero;TONINI, Rita
2000
Abstract
Ultradense gas bubbles in Hydrogen- or Helium-implanted (or co-implanted) Silicon
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