Ultradense gas bubbles in Hydrogen- or Helium-implanted (or co-implanted) Silicon
Ultradense gas bubbles in Hydrogen- or Helium-implanted (or co-implanted) Silicon / Cerofolini, G. F.; Calzolari, G.; Corni, Federico; Nobili, Carlo Emanuele; Ottaviani, Giampiero; Tonini, Rita. - In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY. - ISSN 0921-5107. - STAMPA. - 71(2000), pp. 196-202.
Data di pubblicazione: | 2000 |
Titolo: | Ultradense gas bubbles in Hydrogen- or Helium-implanted (or co-implanted) Silicon |
Autore/i: | Cerofolini, G. F.; Calzolari, G.; Corni, Federico; Nobili, Carlo Emanuele; Ottaviani, Giampiero; Tonini, Rita |
Autore/i UNIMORE: | |
Rivista: | |
Volume: | 71 |
Pagina iniziale: | 196 |
Pagina finale: | 202 |
Codice identificativo ISI: | WOS:000085529700036 |
Codice identificativo Scopus: | 2-s2.0-0033903661 |
Citazione: | Ultradense gas bubbles in Hydrogen- or Helium-implanted (or co-implanted) Silicon / Cerofolini, G. F.; Calzolari, G.; Corni, Federico; Nobili, Carlo Emanuele; Ottaviani, Giampiero; Tonini, Rita. - In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY. - ISSN 0921-5107. - STAMPA. - 71(2000), pp. 196-202. |
Tipologia | Articolo su rivista |
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