Dielectric breakdown in HfO2 dielectrics: Using multiscale modeling to identify the critical physical processes involved in oxide degradation / Strand, Jack; La Torraca, Paolo; Padovani, Andrea; Larcher, Luca; Shluger, Alexander L.. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 131:23(2022), pp. 234501-234501. [10.1063/5.0083189]
Dielectric breakdown in HfO2 dielectrics: Using multiscale modeling to identify the critical physical processes involved in oxide degradation
Strand, Jack;La Torraca, Paolo;Padovani, Andrea;Larcher, Luca;
2022
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(J. Strand - JAP 131, June 2022) Dielectric breakdown in HfO2 dielectrics - Using multiscale modeling to identify the critical physical processes involved in oxide degradation.pdf
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