The Role of Defects and Interface Degradation on Ferroelectric HZO Capacitors Aging / Benatti, L.; Vecchi, S.; Pesic, M.; Puglisi, F. M.. - 2023-March:(2023), pp. 1-6. (Intervento presentato al convegno 61st IEEE International Reliability Physics Symposium, IRPS 2023 tenutosi a Monterey, CA, USA nel 26-30 March 2023) [10.1109/IRPS48203.2023.10118229].
The Role of Defects and Interface Degradation on Ferroelectric HZO Capacitors Aging
Benatti L.;Vecchi S.;Puglisi F. M.
2023
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