The Role of Defects and Interface Degradation on Ferroelectric HZO Capacitors Aging / Benatti, L.; Vecchi, S.; Pesic, M.; Puglisi, F. M.. - 2023-March:(2023), pp. 1-6. (Intervento presentato al convegno 61st IEEE International Reliability Physics Symposium, IRPS 2023 tenutosi a Monterey, CA, USA nel 26-30 March 2023) [10.1109/IRPS48203.2023.10118229].

The Role of Defects and Interface Degradation on Ferroelectric HZO Capacitors Aging

Benatti L.;Vecchi S.;Puglisi F. M.
2023
2023
61st IEEE International Reliability Physics Symposium, IRPS 2023
Monterey, CA, USA
26-30 March 2023
WOS:001007431500151
2-s2.0-85160408316
2023-March
1
6
Benatti, L.; Vecchi, S.; Pesic, M.; Puglisi, F. M.
The Role of Defects and Interface Degradation on Ferroelectric HZO Capacitors Aging / Benatti, L.; Vecchi, S.; Pesic, M.; Puglisi, F. M.. - 2023-March:(2023), pp. 1-6. (Intervento presentato al convegno 61st IEEE International Reliability Physics Symposium, IRPS 2023 tenutosi a Monterey, CA, USA nel 26-30 March 2023) [10.1109/IRPS48203.2023.10118229].
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