Tunnelling Injection in Thin Oxide MOS Capacitors

. Dalla Serra, A.; Abramo, Antonio; Palestri, Pierpaolo; Selmi, Luca; Sangiorgi, E.

In this paper the semi-classical and quantum-mechanical definitions of escape-time from quasi-bound states have been compared in the frame of MOSFET gate leakage-current calculations. The theoretical background and the numerical issues involved in the implementation of these approaches inside device simulators have been compared. Results on many different thin gate-oxide capacitors, and on a special purpose test structure with mercury-probe contact, point out that the semi-classical approach is faster, less demanding from the numerical point of view, and surprisingly accurate compared to the fully quantum-mechanical treatment of more physically-sound models.

Tunnelling Injection in Thin Oxide MOS Capacitors / . DALLA SERRA, A.; Abramo, Antonio; Palestri, Pierpaolo; Selmi, Luca; Sangiorgi, E.. - STAMPA. - (2000). ((Intervento presentato al convegno Workshop on Advances in Silicon Technology and Devices tenutosi a Padova (Italy) nel Aprile 2000.

Data di pubblicazione:	2000
Titolo:	Tunnelling Injection in Thin Oxide MOS Capacitors
Autore/i:	. DALLA SERRA, A.; Abramo, Antonio; Palestri, Pierpaolo; Selmi, Luca; Sangiorgi, E.
Autore/i UNIMORE:	. DALLA SERRA, A. ABRAMO, ANTONIO PALESTRI, Pierpaolo SELMI, LUCA SANGIORGI, E. mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Nome del convegno:	Workshop on Advances in Silicon Technology and Devices
Luogo del convegno:	Padova (Italy)
Data del convegno:	Aprile 2000
Citazione:	Tunnelling Injection in Thin Oxide MOS Capacitors / . DALLA SERRA, A.; Abramo, Antonio; Palestri, Pierpaolo; Selmi, Luca; Sangiorgi, E.. - STAMPA. - (2000). ((Intervento presentato al convegno Workshop on Advances in Silicon Technology and Devices tenutosi a Padova (Italy) nel Aprile 2000.
Tipologia	Relazione in Atti di Convegno

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2000_04_WorkshopSiliconTechnology_DallaSerra_TunnelingInjection.pdf		N/A	Administrator Richiedi una copia

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http://hdl.handle.net/11380/1163246

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