Optical constants in the EUV soft x-ray (5÷152 nm) spectral range of BProceedings of SPIE

Monaco, G.; Garoli, D.; Frison, R.; Mattarello, V.; Nicolosi, P.; Pelizzo, M. G.; Rigato, V.; Armelao, L.; Giglia, A.; Nannarone, Stefano

doi:10.1117/12.684088

B4C optical coating represents, together with Ir, Pt, SiC, one of best choice for high reflectance in the extreme ultraviolet region (EUV 160-30 nm). This material is also used in multilayer for soft X-ray applications, such as Si/B4C or W/B4C, or as interlayer in Mo/Si multilayer to avoid interdiffusion also because of its high thermal stability. Our work concerns on B4C thin films deposited on Si [100] substrates by means of three different deposition techniques: RF plasma magnetron sputtering, e-beam evaporation, pulsed laser ablation (PLD). We performed reflectance vs incidence angle measurements from 5 nm to 152 nm on different samples deriving the optical constants with a least-square fitting method. Complete films characterization have been carried out with compositional (XPS), structural (XRD) and morphological (AFM, SEM) analyses.

Optical constants in the EUV soft x-ray (5÷152 nm) spectral range of BProceedings of SPIE / G., Monaco; D., Garoli; R., Frison; V., Mattarello; P., Nicolosi; M. G., Pelizzo; V., Rigato; L., Armelao; A., Giglia; Nannarone, Stefano. - STAMPA. - 6317(2006), pp. 631712-631712-12. ((Intervento presentato al convegno Conference on Advances in X-Ray/EUV Optics, Components and Applications tenutosi a San Diego, CA nel AUG 14-16, 2006.

Data di pubblicazione:	2006
Titolo:	Optical constants in the EUV soft x-ray (5÷152 nm) spectral range of BProceedings of SPIE
Autore/i:	G., Monaco; D., Garoli; R., Frison; V., Mattarello; P., Nicolosi; M. G., Pelizzo; V., Rigato; L., Armelao; A., Giglia; Nannarone, Stefano
Autore/i UNIMORE:	G. Monaco D. Garoli R. Frison V. Mattarello P. Nicolosi M. G. Pelizzo V. Rigato L. Armelao A. Giglia NANNARONE, Stefano mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Digital Object Identifier (DOI):	http://dx.doi.org/10.1117/12.684088
Codice identificativo Scopus:	2-s2.0-33750578599
Codice identificativo ISI:	WOS:000241972700031
Nome del convegno:	Conference on Advances in X-Ray/EUV Optics, Components and Applications
Luogo del convegno:	San Diego, CA
Data del convegno:	AUG 14-16, 2006
Serie:	PROCEEDINGS OF SPIE, THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
Volume:	6317
Pagina iniziale:	631712
Pagina finale:	631712-12
Citazione:	Optical constants in the EUV soft x-ray (5÷152 nm) spectral range of BProceedings of SPIE / G., Monaco; D., Garoli; R., Frison; V., Mattarello; P., Nicolosi; M. G., Pelizzo; V., Rigato; L., Armelao; A., Giglia; Nannarone, Stefano. - STAMPA. - 6317(2006), pp. 631712-631712-12. ((Intervento presentato al convegno Conference on Advances in X-Ray/EUV Optics, Components and Applications tenutosi a San Diego, CA nel AUG 14-16, 2006.
Tipologia	Relazione in Atti di Convegno

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http://hdl.handle.net/11380/743065

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