The Digital Differential Voltage Contrast in a SEM has been applied to the observation of the latch-up phenomenon in CMOS ICs.

Potential of Digital Differential Voltage Contrast for the observation of latch-up phenomena in CMOS ICs / Fantini, Fausto; M., Vanzi; C., Morandi; G., Soncini. - In: PHYSICA. B + C. - ISSN 0378-4363. - STAMPA. - 129B:(1985), pp. 275-277.

Potential of Digital Differential Voltage Contrast for the observation of latch-up phenomena in CMOS ICs.

FANTINI, Fausto;
1985

Abstract

The Digital Differential Voltage Contrast in a SEM has been applied to the observation of the latch-up phenomenon in CMOS ICs.
129B
275
277
Potential of Digital Differential Voltage Contrast for the observation of latch-up phenomena in CMOS ICs / Fantini, Fausto; M., Vanzi; C., Morandi; G., Soncini. - In: PHYSICA. B + C. - ISSN 0378-4363. - STAMPA. - 129B:(1985), pp. 275-277.
Fantini, Fausto; M., Vanzi; C., Morandi; G., Soncini
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