EnglishWe report on the design, fabrication, and characterization of a microheater module for chemoresistive, metal-oxide semiconductor gas sensors, consisting of a dielectric stacked membrane, micromachined from bulk silicon and with an embedded polysilicon resistor heater. Fabricated structures exhibit excellent heating efficiency, requiring only 30 mW to achieve a temperature of 500 C. Measured electrothermal characteristics are in good agreement with the outcomes of 3D numerical simulations.
| Data di pubblicazione: | 1999 |
| Titolo: | Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors |
| Autori: | S. BRIDA; L. FERRARIO; F. GIACOMOZZI; D. GIUSTI; V. GUARNIERI; B. MARGESIN; G.U. PIGNATEL; G. SONCINI; A. VASILIEV; G. VERZELLESI; M. ZEN |
| Autori: | |
| Data del convegno: | Mar.-Apr. 1999 |
| Nome del convegno: | Symposium on Design, Test, and Microfabrication of MEMS/MOEMS (DTM) |
| Luogo del convegno: | Paris (France) |
| Titolo del libro: | SPIE Proc. Series |
| Volume: | 3680 |
| Pagina iniziale: | 964 |
| Pagina finale: | 968 |
| Appare nelle tipologie: | Relazione in Atti di Convegno |
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http://hdl.handle.net/11380/467011
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