We report on the design, fabrication, and characterization of a microheater module for chemoresistive, metal-oxide semiconductor gas sensors, consisting of a dielectric stacked membrane, micromachined from bulk silicon and with an embedded polysilicon resistor heater. Fabricated structures exhibit excellent heating efficiency, requiring only 30 mW to achieve a temperature of 500 C. Measured electrothermal characteristics are in good agreement with the outcomes of 3D numerical simulations.
We report on the design, fabrication, and characterisation of a microheater module for chemoresistive, metal-oxide semiconductor gas sensors, consisting of a dielectric stacked membrane, micromachined from bulk silicon and with an embedded polysilicon resistor heater. Fabricated structures exhibit excellent heating efficiency, requiring only 30 mW to achieve a temperature of 500 C. Measured electrothermal characteristics are in good agreement with the outcomes of 3D numerical simulations.
Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors / S., Brida; L., Ferrario; F., Giacomozzi; D., Giusti; V., Guarnieri; B., Margesin; G. U., Pignatel; G., Soncini; A., Vasiliev; Verzellesi, Giovanni; M., Zen. - STAMPA. - 3680(1999), pp. 964-968. ((Intervento presentato al convegno Conference on Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS tenutosi a PARIS, FRANCE nel MAR 30-APR 01, 1999.
Data di pubblicazione: | 1999 |
Titolo: | Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors |
Autore/i: | S., Brida; L., Ferrario; F., Giacomozzi; D., Giusti; V., Guarnieri; B., Margesin; G. U., Pignatel; G., Soncini; A., Vasiliev; Verzellesi, Giovanni; M., Zen |
Autore/i UNIMORE: | |
Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1117/12.341164 |
Codice identificativo Scopus: | 2-s2.0-0032652858 |
Codice identificativo ISI: | WOS:000082111700108 |
Nome del convegno: | Conference on Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS |
Luogo del convegno: | PARIS, FRANCE |
Data del convegno: | MAR 30-APR 01, 1999 |
Volume: | 3680 |
Pagina iniziale: | 964 |
Pagina finale: | 968 |
Citazione: | Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors / S., Brida; L., Ferrario; F., Giacomozzi; D., Giusti; V., Guarnieri; B., Margesin; G. U., Pignatel; G., Soncini; A., Vasiliev; Verzellesi, Giovanni; M., Zen. - STAMPA. - 3680(1999), pp. 964-968. ((Intervento presentato al convegno Conference on Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS tenutosi a PARIS, FRANCE nel MAR 30-APR 01, 1999. |
Tipologia | Relazione in Atti di Convegno |
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