Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors

Brida, S.; Ferrario, L.; Giacomozzi, F.; Giusti, D.; Guarnieri, V.; Margesin, B.; Pignatel, G. U.; Soncini, G.; Vasiliev, A.; Verzellesi, Giovanni; Zen, M.

doi:10.1117/12.341164

We report on the design, fabrication, and characterization of a microheater module for chemoresistive, metal-oxide semiconductor gas sensors, consisting of a dielectric stacked membrane, micromachined from bulk silicon and with an embedded polysilicon resistor heater. Fabricated structures exhibit excellent heating efficiency, requiring only 30 mW to achieve a temperature of 500 C. Measured electrothermal characteristics are in good agreement with the outcomes of 3D numerical simulations.

We report on the design, fabrication, and characterisation of a microheater module for chemoresistive, metal-oxide semiconductor gas sensors, consisting of a dielectric stacked membrane, micromachined from bulk silicon and with an embedded polysilicon resistor heater. Fabricated structures exhibit excellent heating efficiency, requiring only 30 mW to achieve a temperature of 500 C. Measured electrothermal characteristics are in good agreement with the outcomes of 3D numerical simulations.

Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors / S., Brida; L., Ferrario; F., Giacomozzi; D., Giusti; V., Guarnieri; B., Margesin; G. U., Pignatel; G., Soncini; A., Vasiliev; Verzellesi, Giovanni; M., Zen. - STAMPA. - 3680(1999), pp. 964-968. ((Intervento presentato al convegno Conference on Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS tenutosi a PARIS, FRANCE nel MAR 30-APR 01, 1999.

Data di pubblicazione:	1999
Titolo:	Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors
Autore/i:	S., Brida; L., Ferrario; F., Giacomozzi; D., Giusti; V., Guarnieri; B., Margesin; G. U., Pignatel; G., Soncini; A., Vasiliev; Verzellesi, Giovanni; M., Zen
Autore/i UNIMORE:	S. BRIDA L. FERRARIO F. GIACOMOZZI D. GIUSTI V. GUARNIERI B. MARGESIN G. U. PIGNATEL G. SONCINI A. VASILIEV VERZELLESI, Giovanni M. ZEN mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Digital Object Identifier (DOI):	http://dx.doi.org/10.1117/12.341164
Codice identificativo Scopus:	2-s2.0-0032652858
Codice identificativo ISI:	WOS:000082111700108
Nome del convegno:	Conference on Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS
Luogo del convegno:	PARIS, FRANCE
Data del convegno:	MAR 30-APR 01, 1999
Volume:	3680
Pagina iniziale:	964
Pagina finale:	968
Citazione:	Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors / S., Brida; L., Ferrario; F., Giacomozzi; D., Giusti; V., Guarnieri; B., Margesin; G. U., Pignatel; G., Soncini; A., Vasiliev; Verzellesi, Giovanni; M., Zen. - STAMPA. - 3680(1999), pp. 964-968. ((Intervento presentato al convegno Conference on Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS tenutosi a PARIS, FRANCE nel MAR 30-APR 01, 1999.
Tipologia	Relazione in Atti di Convegno

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http://hdl.handle.net/11380/467011

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