Gate oxide reliability improvement related to dry local oxidation of silicon / Bellutti, P.; Zorzi, N.; Verzellesi, Giovanni. - In: MICROELECTRONICS RELIABILITY. - ISSN 0026-2714. - STAMPA. - 39:(1999), pp. 181-185.
Gate oxide reliability improvement related to dry local oxidation of silicon
VERZELLESI, Giovanni
1999
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