abstract

Temperature dependence of damage in boron implanted silicon / G., Ottaviani; F., Nava; R., Tonini; Frabboni, Stefano; G. F. CEROFOLINI AND P., Cantoni. - STAMPA. - 147:(1989), pp. 85-90. (Intervento presentato al convegno 1989 SPRING MEETING OF THE MATERIALS RESEARCH SOC. tenutosi a SAN DIEGO, CA nel APR 25-27, 1989).

Temperature dependence of damage in boron implanted silicon

FRABBONI, Stefano;
1989

Abstract

abstract
1989
1989 SPRING MEETING OF THE MATERIALS RESEARCH SOC.
SAN DIEGO, CA
APR 25-27, 1989
147
85
90
G., Ottaviani; F., Nava; R., Tonini; Frabboni, Stefano; G. F. CEROFOLINI AND P., Cantoni
Temperature dependence of damage in boron implanted silicon / G., Ottaviani; F., Nava; R., Tonini; Frabboni, Stefano; G. F. CEROFOLINI AND P., Cantoni. - STAMPA. - 147:(1989), pp. 85-90. (Intervento presentato al convegno 1989 SPRING MEETING OF THE MATERIALS RESEARCH SOC. tenutosi a SAN DIEGO, CA nel APR 25-27, 1989).
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