An electron beam testing system was established foe a complete and detailed analysis of latch-up in CMOS integrated circuits.
A SEM based system for a complete characterisation of latch-up in CMOS integrated circuits / C., Canali; Fantini, Fausto; M., Giannini; A., Senin; M., Vanzi; E., Zanoni. - In: SCANNING. - ISSN 0161-0457. - STAMPA. - 8:(1986), pp. 20-33.
A SEM based system for a complete characterisation of latch-up in CMOS integrated circuits
FANTINI, Fausto;
1986
Abstract
An electron beam testing system was established foe a complete and detailed analysis of latch-up in CMOS integrated circuits.
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