EnglishThe electromigration performance of Al-1%Si/TiN/ti metal scheme is investigated both for contacts and for stripes and compared with the results for the standard Al-1%Si metallization.
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http://hdl.handle.net/11380/451790| Anno di pubblicazione: | 1991 |
| Titolo: | The Al-1% Si/TiN/Ti interconnection scheme: electromigration and reliability extrapolation |
| Autori: | C.CAPRILE; G.SPECCHIULLI; D.SALA; F. FANTINI |
| Autori: | |
| Rivista: | |
| Volume: | 7 |
| Pagina iniziale: | 275 |
| Pagina finale: | 279 |
| Appare nelle tipologie: | Articolo su rivista |
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