The applicability of NIST-ASTM electromigration test patterns when used to test "bamboo" metal lines is discussed.
On the ASTM electromigration test structure applied to Al-1%Si/TiN/Ti bamboo metal lines / I., DE MUNARI; M., Vanzi; A., Scorzoni; Fantini, Fausto. - In: QUALITY AND RELIABILITY ENGINEERING INTERNATIONAL. - ISSN 0748-8017. - STAMPA. - 11:(1995), pp. 33-39.
On the ASTM electromigration test structure applied to Al-1%Si/TiN/Ti bamboo metal lines
FANTINI, Fausto
1995
Abstract
The applicability of NIST-ASTM electromigration test patterns when used to test "bamboo" metal lines is discussed.
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