Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines

DE MUNARI, I.; Scorzoni, A.; Tamarri, F.; Fantini, Fausto

The presence of a different activation energy for the electromigration during the early phase of accelerated tests is demonstrated and discussed.

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Anno di pubblicazione:	1995
Titolo:	Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines
Autori:	I.DE MUNARI; A.SCORZONI; F.TAMARRI; F. FANTINI
Autori:	I. DE MUNARI A. SCORZONI F. TAMARRI FANTINI, Fausto mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Rivista:	SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
Volume:	10
Pagina iniziale:	255
Pagina finale:	259
Appare nelle tipologie:	Articolo su rivista

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http://hdl.handle.net/11380/451779

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