The presence of a different activation energy for the electromigration during the early phase of accelerated tests is demonstrated and discussed.

Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines / I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 10(1995), pp. 255-259.

Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines

FANTINI, Fausto
1995

Abstract

The presence of a different activation energy for the electromigration during the early phase of accelerated tests is demonstrated and discussed.
10
255
259
Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines / I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 10(1995), pp. 255-259.
I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto
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