EnglishThe presence of a different activation energy for the electromigration during the early phase of accelerated tests is demonstrated and discussed.
Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines / I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 10(1995), pp. 255-259.
| Data di pubblicazione: | 1995 | |
| Titolo: | Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines | |
| Autore/i: | I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto | |
| Autore/i UNIMORE: | ||
| Rivista: | ||
| Volume: | 10 | |
| Pagina iniziale: | 255 | |
| Pagina finale: | 259 | |
| Codice identificativo ISI: | WOS:A1995QL90600004 | |
| Codice identificativo Scopus: | 2-s2.0-0029271837 | |
| Citazione: | Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines / I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 10(1995), pp. 255-259. | |
| Tipologia | Articolo su rivista |
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http://hdl.handle.net/11380/451779
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