The presence of a different activation energy for the electromigration during the early phase of accelerated tests is demonstrated and discussed.
Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines / I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 10(1995), pp. 255-259.
Data di pubblicazione: | 1995 |
Titolo: | Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines |
Autore/i: | I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto |
Autore/i UNIMORE: | |
Rivista: | |
Volume: | 10 |
Pagina iniziale: | 255 |
Pagina finale: | 259 |
Codice identificativo ISI: | WOS:A1995QL90600004 |
Codice identificativo Scopus: | 2-s2.0-0029271837 |
Citazione: | Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines / I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 10(1995), pp. 255-259. |
Tipologia | Articolo su rivista |
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