Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines

De Munari, I.; Scorzoni, A.; Tamarri, F.; Fantini, Fausto

The presence of a different activation energy for the electromigration during the early phase of accelerated tests is demonstrated and discussed.

Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines / I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 10(1995), pp. 255-259.

Data di pubblicazione:	1995
Titolo:	Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines
Autore/i:	I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto
Autore/i UNIMORE:	I. DE MUNARI A. SCORZONI F. TAMARRI FANTINI, Fausto mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Rivista:	SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
Volume:	10
Pagina iniziale:	255
Pagina finale:	259
Codice identificativo ISI:	WOS:A1995QL90600004
Codice identificativo Scopus:	2-s2.0-0029271837
Citazione:	Activation energy in the early stage of electromigration in Al-1%Si/TiN/Ti bamboo lines / I., DE MUNARI; A., Scorzoni; F., Tamarri; Fantini, Fausto. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - STAMPA. - 10(1995), pp. 255-259.
Tipologia	Articolo su rivista

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http://hdl.handle.net/11380/451779

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