Strain analysis in submicron electron devices by convergent beam electron diffraction / A., Armigliato; R., Balboni; Frabboni, Stefano; A. BENEDETTI AND A. G., Cullis. - STAMPA. - 588:(2002), pp. 82-90. (Intervento presentato al convegno International Workshop on Nanoscale Spectroscopy and Its Applications to Semiconductor Research tenutosi a RIESTE, ITALY nel DEC 11-14, 2000).
Strain analysis in submicron electron devices by convergent beam electron diffraction
FRABBONI, Stefano;
2002
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