We report for the first time the optimization of the channel lateral strain profile as a new technological booster for improved performance of multi-gate n-channel MOSFET. We find that quasi-uniform or flat-Gaussian-close-to-the-drain profiles are optimum for the Ion boosting of sub-50 nm scaled MOSFETs, while the penalty on Ioff and subthreshold slope is minimum. The reported predictions use realistic lateral uniaxial strain profiles, with peaks up to few GPa's and average values of hundreds of MPa's.
Optimization of the Channel Lateral Strain Profile for Improved Performance of Multi-Gate MOSFETs / M., De Michielis; K., Boucart; K. E., Moselund; D., Bouvet; P., Dosbroz; S., Olsen; A., O’Neil; L., Lattanzio; Selmi, Luca; A. M., Ionescu. - (2009), pp. 119-120. ((Intervento presentato al convegno VLSI-TSA International Conference tenutosi a Taiwan [10.1109/VTSA.2009.5159319].
Data di pubblicazione: | 2009 | |
Titolo: | Optimization of the Channel Lateral Strain Profile for Improved Performance of Multi-Gate MOSFETs | |
Autore/i: | M., De Michielis; K., Boucart; K. E., Moselund; D., Bouvet; P., Dosbroz; S., Olsen; A., O’Neil; L., Lattanzio; Selmi, Luca; A. M., Ionescu | |
Autore/i UNIMORE: | ||
Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1109/VTSA.2009.5159319 | |
Codice identificativo Scopus: | 2-s2.0-77950163790 | |
Codice identificativo ISI: | WOS:000272451000053 | |
Nome del convegno: | VLSI-TSA International Conference | |
Luogo del convegno: | Taiwan | |
Pagina iniziale: | 119 | |
Pagina finale: | 120 | |
Citazione: | Optimization of the Channel Lateral Strain Profile for Improved Performance of Multi-Gate MOSFETs / M., De Michielis; K., Boucart; K. E., Moselund; D., Bouvet; P., Dosbroz; S., Olsen; A., O’Neil; L., Lattanzio; Selmi, Luca; A. M., Ionescu. - (2009), pp. 119-120. ((Intervento presentato al convegno VLSI-TSA International Conference tenutosi a Taiwan [10.1109/VTSA.2009.5159319]. | |
Tipologia | Relazione in Atti di Convegno |
File in questo prodotto:
File | Descrizione | Tipologia | |
---|---|---|---|
09_DeMichielis Optimization of the channel.pdf | N/A | Administrator Richiedi una copia |
Pubblicazioni consigliate

I metadati presenti in IRIS UNIMORE sono rilasciati con licenza Creative Commons CC0 1.0 Universal, mentre i file delle pubblicazioni sono rilasciati con licenza Attribuzione 4.0 Internazionale (CC BY 4.0), salvo diversa indicazione.
In caso di violazione di copyright, contattare Supporto Iris