Parallel Writing by Local Oxidation Nanolithography with sub-Micrometer Resolution

Cavallini, M.; Mei, P.; Biscarini, Fabio; Garca, R.

Parallel Writing by Local Oxidation Nanolithography with sub-Micrometer Resolution / M., Cavallini; P., Mei; Biscarini, Fabio; R., Garca. - In: APPLIED PHYSICS LETTERS. - ISSN 0003-6951. - 83(2003), pp. 5286-5288.

Data di pubblicazione:	2003
Titolo:	Parallel Writing by Local Oxidation Nanolithography with sub-Micrometer Resolution
Autore/i:	M., Cavallini; P., Mei; Biscarini, Fabio; R., Garca
Autore/i UNIMORE:	M. CAVALLINI P. MEI BISCARINI, FABIO R. GARCA mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Rivista:	APPLIED PHYSICS LETTERS
Volume:	83
Pagina iniziale:	5286
Pagina finale:	5288
Codice identificativo Scopus:	2-s2.0-0942277724
Citazione:	Parallel Writing by Local Oxidation Nanolithography with sub-Micrometer Resolution / M., Cavallini; P., Mei; Biscarini, Fabio; R., Garca. - In: APPLIED PHYSICS LETTERS. - ISSN 0003-6951. - 83(2003), pp. 5286-5288.
Tipologia	Articolo su rivista

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http://hdl.handle.net/11380/963148

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