Parallel Writing by Local Oxidation Nanolithography with sub-Micrometer Resolution / M., Cavallini; P., Mei; Biscarini, Fabio; R., Garca. - In: APPLIED PHYSICS LETTERS. - ISSN 0003-6951. - 83:25(2003), pp. 5286-5288. [10.1063/1.1633685]

Parallel Writing by Local Oxidation Nanolithography with sub-Micrometer Resolution

BISCARINI, FABIO;
2003

2003
83
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5286
5288
Parallel Writing by Local Oxidation Nanolithography with sub-Micrometer Resolution / M., Cavallini; P., Mei; Biscarini, Fabio; R., Garca. - In: APPLIED PHYSICS LETTERS. - ISSN 0003-6951. - 83:25(2003), pp. 5286-5288. [10.1063/1.1633685]
M., Cavallini; P., Mei; Biscarini, Fabio; R., Garca
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