Development of a parallel local oxidation nanolithography instrument

Martinez, J.; Losilla, N. S.; Biscarini, Fabio; Schmidt, G.; Borzenko, T.; Molenkamp, L. W.; Garcia, R.

doi:10.1063/1.2336773

Development of a parallel local oxidation nanolithography instrument / J., M., N. S., L., Biscarini, F., G., S., T., B., L. W., M., R., G.. - In: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. - ISSN 0034-6748. - 77:8(2006), p. 086106. [10.1063/1.2336773]

Development of a parallel local oxidation nanolithography instrument

J. MARTINEZ;N. S. LOSILLA;BISCARINI, FABIO;G. SCHMIDT;T. BORZENKO;L. W. MOLENKAMP;R. GARCIA

2006

Scheda breve

Scheda completa

Scheda completa (DC)

	Anno di pubblicazione
	
				2006
			
	Rivista
	
				REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
			
	N° del Volume
	
				77
			
	Fascicolo
	
				8
			
	Pagina iniziale
	
				086106
			
	Codice DOI
	
				https://dx.doi.org/10.1063/1.2336773
			
	Codice WoS
	
				WOS:000240035800036
			
	Codice Scopus
	
				2-s2.0-33747862194
			
	Citazione
	
				Development of a parallel local oxidation nanolithography instrument / J., M., N. S., L., Biscarini, F., G., S., T., B., L. W., M., R., G.. - In: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. - ISSN 0034-6748. - 77:8(2006), p. 086106. [10.1063/1.2336773]
			
	Tutti gli autori
	
						J., Martinez; N. S., Losilla; Biscarini, Fabio; G., Schmidt; T., Borzenko; L. W., Molenkamp; R., Garcia
					
	Tipologia
	
				Articolo su rivista

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