Development of a parallel local oxidation nanolithography instrument / J., Martinez; N. S., Losilla; Biscarini, Fabio; G., Schmidt; T., Borzenko; L. W., Molenkamp; R., Garcia. - In: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. - ISSN 0034-6748. - 77:8(2006), p. 086106. [10.1063/1.2336773]
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