Viene descritto l'effetto di piezoresistenza in metalli e semiconduttori. E' presentata la struttutura di un sensore di pressione e descritti l'elemento sensibile e di trasduzione. Oltre alla tecnologia costruttiva è presentata il principio operativo per sensori basati elementi sensibili metallici e a semiconduttore. E' infine presentata l'evoluzione di tecnologie realizzative dei sensori di pressione verso l'applicazione industriale.
Trasduttori di pressione ad effetto piezoresistivo: vent'anni di ricerca verso l'applicazione industriale / Morten, Bruno; M., Prudenziati; A., Taroni. - In: FISICA E TECNOLOGIA. - ISSN 0391-9757. - STAMPA. - 1:(1978), pp. 5-18.
Trasduttori di pressione ad effetto piezoresistivo: vent'anni di ricerca verso l'applicazione industriale
MORTEN, Bruno;
1978
Abstract
Viene descritto l'effetto di piezoresistenza in metalli e semiconduttori. E' presentata la struttutura di un sensore di pressione e descritti l'elemento sensibile e di trasduzione. Oltre alla tecnologia costruttiva è presentata il principio operativo per sensori basati elementi sensibili metallici e a semiconduttore. E' infine presentata l'evoluzione di tecnologie realizzative dei sensori di pressione verso l'applicazione industriale.Pubblicazioni consigliate
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