This note are presented some experimental results on piezoresistive properties of p-type-boron doped silicon epitazial layers grown on single-crystal n-type silicon substrates.
Piezoresistive effects in sicon epitaxial layers / F., Conti; Morten, Bruno; C., Nobili; A., Taroni. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. A, APPLIED RESEARCH. - ISSN 0031-8965. - STAMPA. - 19:(1973), pp. K133-K136. [10.1002/pssa.2210190251]
Piezoresistive effects in sicon epitaxial layers
MORTEN, Bruno;
1973
Abstract
This note are presented some experimental results on piezoresistive properties of p-type-boron doped silicon epitazial layers grown on single-crystal n-type silicon substrates.
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