Gli accelerometri di tipo piezoelettrico sono probabilmente i più diffusi sensori diaccelerazione attualmente in commercio per l’ambito industriale. Hanno infatti un’ampiabanda dinamica di linearità,sono influenzati in modo trascurabile da rumore etemperatura, e possono misurare elevati valori di accelerazione. Negli ultimi anni sonostati proposti sul mercato dei nuovi tipi di accelerometri di tipo MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) che hanno la caratteristica di essere molto meno costosi deipiezoelettrici sia per i materiali impiegati sia per il processo di fabbricazione di massa. Sefino a poco tempo fa la qualità degli accelerometri MEMS non era paragonabile a quelladei piezoelettrici, la continua evoluzione tecnologica ha estremamente ridotto le differenzetra le due tipologie di sensori. Lo scopo di questo articolo è di confrontare le prestazionidinamiche di alcuni accelerometri di tipo piezoelettrico e di tipo MEMS, per valutarne ledifferenze, qualità e difetti, e fornire un’introduzione alle problematiche che nascono nelpassaggio da una tecnologia all’altra

Accelerometri MEMS: caratterizzazione dinamica e confronto con i sensoripiezoelettrici / G., Scirè Mammano; Cocconcelli, Marco; Rubini, Riccardo; Dragoni, Eugenio. - STAMPA. - (2011), pp. 315-336.

Accelerometri MEMS: caratterizzazione dinamica e confronto con i sensoripiezoelettrici

COCCONCELLI, Marco;RUBINI, Riccardo;DRAGONI, Eugenio
2011-01-01

Abstract

Gli accelerometri di tipo piezoelettrico sono probabilmente i più diffusi sensori diaccelerazione attualmente in commercio per l’ambito industriale. Hanno infatti un’ampiabanda dinamica di linearità,sono influenzati in modo trascurabile da rumore etemperatura, e possono misurare elevati valori di accelerazione. Negli ultimi anni sonostati proposti sul mercato dei nuovi tipi di accelerometri di tipo MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) che hanno la caratteristica di essere molto meno costosi deipiezoelettrici sia per i materiali impiegati sia per il processo di fabbricazione di massa. Sefino a poco tempo fa la qualità degli accelerometri MEMS non era paragonabile a quelladei piezoelettrici, la continua evoluzione tecnologica ha estremamente ridotto le differenzetra le due tipologie di sensori. Lo scopo di questo articolo è di confrontare le prestazionidinamiche di alcuni accelerometri di tipo piezoelettrico e di tipo MEMS, per valutarne ledifferenze, qualità e difetti, e fornire un’introduzione alle problematiche che nascono nelpassaggio da una tecnologia all’altra
Quarta giornata di studio Ettore Funaioli 16 luglio 2010
9788896572061
Asterisco Edizioni
ITALIA
Accelerometri MEMS: caratterizzazione dinamica e confronto con i sensoripiezoelettrici / G., Scirè Mammano; Cocconcelli, Marco; Rubini, Riccardo; Dragoni, Eugenio. - STAMPA. - (2011), pp. 315-336.
G., Scirè Mammano; Cocconcelli, Marco; Rubini, Riccardo; Dragoni, Eugenio
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