A Novel Optical Stylus Probe for the Measurement of Surface Roughness and Waviness
A Novel Optical Stylus Probe for the Measurement of Surface Roughness and Waviness / P., Tomassini; R., Rodella; Rovati, Luigi; S., Sansoni; F., Docchio. - STAMPA. - (2000), pp. 282-290. ((Intervento presentato al convegno 1st euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology tenutosi a Copenhagen nel Maggio.
Data di pubblicazione: | 2000 | |
Titolo: | A Novel Optical Stylus Probe for the Measurement of Surface Roughness and Waviness | |
Autore/i: | P., Tomassini; R., Rodella; Rovati, Luigi; S., Sansoni; F., Docchio | |
Autore/i UNIMORE: | ||
Nome del convegno: | 1st euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology | |
Luogo del convegno: | Copenhagen | |
Data del convegno: | Maggio | |
Pagina iniziale: | 282 | |
Pagina finale: | 290 | |
Citazione: | A Novel Optical Stylus Probe for the Measurement of Surface Roughness and Waviness / P., Tomassini; R., Rodella; Rovati, Luigi; S., Sansoni; F., Docchio. - STAMPA. - (2000), pp. 282-290. ((Intervento presentato al convegno 1st euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology tenutosi a Copenhagen nel Maggio. | |
Tipologia | Relazione in Atti di Convegno |
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