A Novel Optical Stylus Probe for the Measurement of Surface Roughness and Waviness
A Novel Optical Stylus Probe for the Measurement of Surface Roughness and Waviness / P., Tomassini; R., Rodella; Rovati, Luigi; S., Sansoni; F., Docchio. - STAMPA. - (2000), pp. 282-290. (Intervento presentato al convegno 1st euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology tenutosi a Copenhagen nel Maggio).
A Novel Optical Stylus Probe for the Measurement of Surface Roughness and Waviness
ROVATI, Luigi;
2000
Abstract
A Novel Optical Stylus Probe for the Measurement of Surface Roughness and Waviness
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