Focused ion beam milling for the fabrication of 160 nm channel length IGZO TFTs on flexible polymer substrates / Münzenrieder, N; Shorubalko, I; Petti, L; Cantarella, G; Shkodra, B; Meister, T; Ishida, K; Carta, C; Ellinger, F; Tröster, G. - In: FLEXIBLE AND PRINTED ELECTRONICS. - ISSN 2058-8585. - 5:1(2020). [10.1088/2058-8585/ab639f]
Focused ion beam milling for the fabrication of 160 nm channel length IGZO TFTs on flexible polymer substrates
Cantarella G;
2020
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