Focused ion beam milling for the fabrication of 160 nm channel length IGZO TFTs on flexible polymer substrates / Münzenrieder, N., Shorubalko, I., Petti, L., Cantarella, G., Shkodra, B., Meister, T., Ishida, K., Carta, C., Ellinger, F., Tröster, G.. - In: FLEXIBLE AND PRINTED ELECTRONICS. - ISSN 2058-8585. - 5:1(2020). [10.1088/2058-8585/ab639f]
Focused ion beam milling for the fabrication of 160 nm channel length IGZO TFTs on flexible polymer substrates
Cantarella G;
2020
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