Low leakage stoichiometric SrTiO3 dielectric for advanced metal-insulator-metal capacitors

Popovici, Mihaela; Kaczer, Ben; Afanas'Ev, Valeri V.; Sereni, Gabriele; Larcher, Luca; Redolfi, Augusto; Van Elshocht, Sven; Jurczak, Malgorzata

doi:10.1002/pssr.201600036

Metal-insulator-metal capacitors (MIMCAP) with stoichiometric SrTiO3 dielectric were deposited stacking two strontium titanate (STO) layers, followed by intermixing the grain determining Sr-rich STO seed layer, with the Ti-rich STO top layer. The resulted stoichiometric SrTiO3 would have a structure with less defects as demonstrated by internal photoemission experiments. Consequently, the leakage current density is lower compared to Sr-rich STO which allow further equivalent oxide thickness downscaling. Schematic of MIMCAP with stoichiometric STO dielectric formed from bottom Sr-rich STO and top Ti-rich STO after intermixing during crystallization anneal.

Low leakage stoichiometric SrTiO3 dielectric for advanced metal-insulator-metal capacitors / Popovici, Mihaela; Kaczer, Ben; Afanas'Ev, Valeri V.; Sereni, Gabriele; Larcher, Luca; Redolfi, Augusto; Van Elshocht, Sven; Jurczak, Malgorzata. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. RAPID RESEARCH LETTERS. - ISSN 1862-6254. - 10:5(2016), pp. 420-425.

Data di pubblicazione:	2016
Titolo:	Low leakage stoichiometric SrTiO3 dielectric for advanced metal-insulator-metal capacitors
Autore/i:	Popovici, Mihaela; Kaczer, Ben; Afanas'Ev, Valeri V.; Sereni, Gabriele; Larcher, Luca; Redolfi, Augusto; Van Elshocht, Sven; Jurczak, Malgorzata
Autore/i UNIMORE:	Popovici, Mihaela Kaczer, Ben Afanas'Ev, Valeri V. SERENI, GABRIELE LARCHER, Luca Redolfi, Augusto Van Elshocht, Sven Jurczak, Malgorzata mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Digital Object Identifier (DOI):	http://dx.doi.org/10.1002/pssr.201600036
Rivista:	PHYSICA STATUS SOLIDI. RAPID RESEARCH LETTERS
Volume:	10
Fascicolo:	5
Pagina iniziale:	420
Pagina finale:	425
Codice identificativo ISI:	WOS:000380221100009
Codice identificativo Scopus:	2-s2.0-84977997271
Citazione:	Low leakage stoichiometric SrTiO3 dielectric for advanced metal-insulator-metal capacitors / Popovici, Mihaela; Kaczer, Ben; Afanas'Ev, Valeri V.; Sereni, Gabriele; Larcher, Luca; Redolfi, Augusto; Van Elshocht, Sven; Jurczak, Malgorzata. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. RAPID RESEARCH LETTERS. - ISSN 1862-6254. - 10:5(2016), pp. 420-425.
Tipologia	Articolo su rivista

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http://hdl.handle.net/11380/1131104

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