The Digital Differential Voltage Contrast in a SEM has been applied to the observation of the latch-up phenomenon in CMOS ICs.
Potential of Digital Differential Voltage Contrast for the observation of latch-up phenomena in CMOS ICs / Fantini, Fausto; M., Vanzi; C., Morandi; G., Soncini. - In: PHYSICA. B + C. - ISSN 0378-4363. - STAMPA. - 129B:(1985), pp. 275-277.
Potential of Digital Differential Voltage Contrast for the observation of latch-up phenomena in CMOS ICs.
FANTINI, Fausto;
1985
Abstract
The Digital Differential Voltage Contrast in a SEM has been applied to the observation of the latch-up phenomenon in CMOS ICs.
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