本發明係關於半導體裝置,且更特定言之,本發明係關於單一或多重閘極場平板之製造。

This invention relates to semiconductor devices and, more particularly, to the fabrication of single or multiple gate field plates.

單一或多重閘極場平板之製造 / Chini, Alessandro; Mishra, Umesh K.; Parikh, Primit; Wu, Yifeng. - (2005 Jul 01).

單一或多重閘極場平板之製造

Alessandro Chini;
2005

Abstract

This invention relates to semiconductor devices and, more particularly, to the fabrication of single or multiple gate field plates.
1-lug-2005
11-mar-2014
University of California, Cree Inc
TWI430341B
Internazionale
Chini, Alessandro; Mishra, Umesh K.; Parikh, Primit; Wu, Yifeng
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